简 介**
MCZ-6000Z型锗单晶炉 ,是在惰性气体环境中,石墨电
阻加热器加热使锗多晶材料溶化,用直拉法生长无位错锗单
晶的设备。可生产红外探测器所需要的高质量锗单晶。这种
单晶炉能使用16英寸的石英坩埚,最大投料45千克,拉制4-
6英寸的单晶,最大允许使用18英寸的石英坩埚,投料65千
克,拉制8~12英寸的锗单晶。
主要技术参数
1.电源:
三相 50Hz 380 V±10%
2.主变压器容量:
200 KVA
3.加热器最大加热功率:
150 Kw ×2500ADC
4.加热器最高电压:
60 V
6.冷炉极限真空度:
≤3 Pa
7.主炉室尺寸:
φ800mm×1398mm
8.副炉室尺寸:
上幅室Φ272 mm×1123 mm 下幅室Φ350 mm×600 mm
9.晶体直径:
φ12″(φ304.8mm)
10.熔料量(最大):
65 Kg
11.籽晶
0.1-10 mm/min
1500mm
0.02-2.5 mm/min
16.主机重量:
约 4540Kg
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