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                       MCZ-6000Z 型锗单晶炉
 
     
 


简 介**


    MCZ-6000Z型锗单晶炉 ,是在惰性气体环境中,石墨电

阻加热器加热使锗多晶材料溶化,用直拉法生长无位错锗单

晶的设备。可生产红外探测器所需要的高质量锗单晶。这种

单晶炉能使用16英寸的石英坩埚,最大投料45千克,拉制4-

6英寸的单晶,最大允许使用18英寸的石英坩埚,投料65千

克,拉制8~12英寸的锗单晶。

 

 

 

主要技术参数

 

1.电源:

三相  50Hz  380 V±10%

2.主变压器容量:

200 KVA

3.加热器最大加热功率:

150 Kw ×2500ADC

4.加热器最高电压:

60 V

5.最高加热温度
1600℃

6.冷炉极限真空度:

3 Pa

7.主炉室尺寸:

φ800mm×1398mm

8.副炉室尺寸

上幅室Φ272 mm×1123 mm

下幅室Φ350 mm×600 mm

9.晶体直径:

φ12″(φ304.8mm)

10.熔料量(最大):

65 Kg

11.籽晶

拉速范围

0.1-10 mm/min

快速
10-400 mm/min
转速
1-40 rpm
12.籽晶在炉内有效行程:
>2600 mm
13.籽晶在副室内有效行程:

1500mm

14.坩埚
升速范围

0.02-2.5 mm/min

升快速
>60 mm /min
转速范围
1-30 rpm
15.坩埚在炉内的有效行程
400 mm

 16.主机重量:

约 4540Kg

     
                           
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