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MCZ-2800-96BA 型磁场砷化镓高压单晶炉
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简 介**
MCZ-2800-96BA型砷化镓晶体炉，是工业化生产GaAs单晶的重要配套设备之一。
本炉用于GaAs多晶的高压合成。由于具备上传动提拉部件，可将合成的多晶拉制成多晶棒后使用。
本合成炉炉室内部空间达φ650×1200，热场配置多数与同系列单晶炉兼容。其最大工作压力优化为9.6 MPa，满足高压合成要求。
本合成炉的高压炉室部件用0Cr18Ni9不锈钢制造，控制部分采用进口研华586工控机和专门研制的合成炉软件，是新一代的GaAs合成炉。
主要技术参数: |
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1.主炉室内径×内部高度 |
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φ650×1200 |
2.最大工作压力: |
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9.6 MPa（94.74atm） |
3.真空度: |
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≤3 Pa |
4.坩埚直径: |
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10″或12″（φ254或φ305.8） |
| 5.装料量: |
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28 Kg （Max 50Kg） |
6.加热器功率:
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下加热器功率 |
35 KVA（28KW） |
主加热器功率 |
160 KVA（96KW） |
后加热器功率 |
35 KVA（28KW） |
7.称重传感器: |
S型 |
25 Kg（最大50Kg） |
8.坩埚杆运动参数:
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有效行程 |
280 |
转速 |
0-50 rpm |
拉速 |
0.5-50 mm/h |
快速 |
手动 |
9.提升杆运动参数:
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有效行程 |
875 |
转速 |
0-50 mm/min |
拉速 |
00.5-50 mm/h |
快速 |
手动 |
| 10.运动部件： |
采用不间断电源 |
UPS- 200 W |
11.主机最大高度: |
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4355 |
主机操作高度（顶升600时） |
04955 |
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