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                                    MCZ-2800-96A 型磁场砷化镓高压单晶炉
 
     
 

简 介**


    MCZ-2800-96A型磁场砷化镓高压单晶炉,是工业化生产GaAs单晶的主要设备。设备投料量为28Kg,最大可到50Kg,适于4″-6″GaAs单晶的生长,是新一代的高压单晶炉。

本单晶炉用于在高压环境下原位合成GaAs后,降至中压完成GaAs单晶的生长。

本合成炉炉室内腔尺寸优化设计为Φ572×1200,最大工作压力为9.6Mpa,满足晶体生长需要。

设备的主炉室采用高质量不锈钢,按高压容器严格设计、制造及检测。并可依据客户需求,配备0-2000高斯磁场强度连续可调的永磁场,达到等效微重力晶体生长能力。

设备配有进口精密重量传感器,采用进口研华586工控机和专门研制的计算机软件用于上称重法控制晶体等径生长。

 

 

主要技术参数:

 

1.主炉室内腔尺寸:

标准型

φ572×1200(内腔可任选φ510-φ650)

2.最大工作压力:

9.6 MPa(94.74atm)

3.真空度:

≤3 Pa

4.坩埚直径:

10″或12″(φ254或φ305.8)

5.装料量:
28 Kg (Max 50Kg)

 

6.加热器功率:

下加热器功率

35 KVA(28KW)

主加热器功率

120 KVA(96KW)

后加热器功率

35 KVA(28KW)

7.磁场强度:

磁场强度连续可调

0-2000 Gs

8.称重传感器:

S型

25 Kg(最大50Kg)

9.坩埚杆运动参数:
有效行程
280
转速

0-50 rpm

拉速

0000.5-50 mm/h

10.提升杆运动参数:
有效行程
875
转速
000.-50 mm/min
拉速
0000.5-50 mm/h

 11.主机最大高度:

4355

     
                           
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