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CZ-1500 型氧化物晶体炉 |
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简 介**
CZ-1500型氧化物晶体炉，是以直拉法拉制氧化物晶体材料的
专用设备。本设备共有四种型号：A型为中频加热。B型为石墨电
阻式加热。C型为中频加热带上称重装置。D型为石墨电阻式加热
带上称重装置。
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主要技术参数:
1.电源: |
三相 50 Hz 380 V±10％ |
2.中频加热(选购): |
2.5 Kc, 30-50 Kw |
3.电阻加热主变压器容量(选购): |
45 KVA |
4.最高温度: |
2100 ℃ |
5.熔料量: |
15 Kg |
6.上称重(选购): |
0-15 Kg |
7.冷炉极限真空度:扩散泵 |
6.67×10-3 Pa |
8.籽晶杆炉内行程: |
410 mm |
拉速 |
0.05-10 mm/h |
快速 |
手动 |
转速 |
0-50 rpm |
9.坩埚杆炉内行程: |
110 mm |
升速 |
手动 |
10.炉腔容积: |
Φ600 mm×1000 mm |
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