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BYJ-TS800型真空脱水炉
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简 介
TS-800型脱水炉，是采用高真空状态下加热法使砷化镓及
其它半导材料脱水的设备。该设备采用石墨电阻加热,具有热
偶温度控制与显示。
主要技术参数: |
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1.电源： |
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三相 50Hz 380 V±10% |
2.加热器最大加热功率： |
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55 KVA |
3.炉腔最高温度： |
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1300 ℃ |
4.最大装料量: |
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8 Kg |
5.炉室真空度： |
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＜10 -3 Pa（10-5 mmHg） |
| 6.坩埚杆炉内行程： |
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80 |
| 7.炉膛尺寸： |
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Φ400 |
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985 |
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约102升 |
| 8.炉室抽真空达10 Pa时间： |
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＜120min |
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