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BYJ-TH01型砷化镓立式退火炉
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 简 介
BYJ-TH01型立式退火炉，用于砷化镓单晶锭退火，是工业化
生产GaAs单晶的必要配套设备。本退火炉内腔采用密封石英管，
尺寸优化设计为φ230mm，并可支持不同直径单晶锭，工作压力满
足晶体退火需要，并有气体保护。
该设备主炉室的外壁采用0Cr18Ni9不锈钢，设计、制造及检
测严格。采用6段式电阻丝加热，586工控机和专门研制的计算机
软件控制炉室内腔温度，保持热区恒温。
主要技术参数:
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| 1.炉膛内径: |
可放置4 ″、6″长180mm晶体 |
| 2.工作温度: |
1150 ℃ |
| 3.恒温区长度: |
760 |
| 4.真空室材料: |
石英 |
| 5.真空度: |
1 Pa |
| 6.漏气率: |
0.6 Pa/min |
| 7.送料要求: |
晶锭进出自由灵活 |
| 8.承重: |
50 Kg |
| 9.温控: |
全自动升降温程序控制 |
| 10.升降温速率: |
2-15 ℃/min |
| 11.炉室气氛: |
流动氮气，０.5 L/min |
| 12.加热方式: |
电阻丝 |
| 13.送料控连接方式: |
法兰活连接 水冷 |
| 14.加热段数: |
6 段 |
| 15.加热功率: |
50 Kw |
| 16.控制方式: |
工业控制计算机 |
| 17.升降台速率: |
50-300 mm/min |
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